平板显示制造

电阻率/膜厚测量

全自动非接触电阻值测量系统

产品型号：NC-60F / RS-1300N
制造原厂：Napson Corp.

平板显示器行业标准的非接触式ITO和金属薄膜测量
测量探头X-Y及Z轴全自动移动
可兼容机械手实现自动上下片
选件：
可实现多功能集成系统(膜厚测量等）
可增加4探针测量单元:RT-3000

样品尺寸：
支持最大2,880 x 3,080mm
测量范围：
[RS]
<1. ITO薄膜> 5~800 Ω/sq
<2. 金属薄膜> 10m ~ 10Ω/sq
［ITO薄膜厚度］ 20 nm (200A)～500 nm (5,000A)

NAP-NC-60F / RS-1300N