EC-80P是由日本Napson公司推出的掌上型渦電流非接觸式量測設備。通過手握探頭,選擇樣品上需要測試的位置進行量測即可,非常適合針對大尺寸樣品進行量測,同時也具備良好的測試精度及重複性。
探頭接觸樣品即自動開始測量
可通過JOG旋鈕快速設定測量條件
5種測量範圍探頭可根據樣品電阻率進行更換
可選配P/N型判定量測功能
應用:矽片樣品, 化合物半導體, 外延層, 擴散層, 碳化矽, 薄膜材料, 金屬膜, ITO, IZO, Low-E玻璃, LED/OLED等材料
樣品尺寸: 可測量任意尺寸和形狀的樣品
探頭類型 測量範圍
低:0.01 - -0.5ohm/sq(0.001 - -0.05 ohm.cm)
中:0.5 -10ohm/sq(0.05 -0.5 ohm.cm)
高:10 - 1000ohm/sq(0.5-60 ohm.cm)
超級高:1000 - 3000ohm/sq(60 - 180 ohm.cm)
太陽能晶片:5 - 500ohm/sq(0.2-15 ohm.cm)