FilmTek™2000 SE臺式計量系統提供了無與倫比的測量性能，多功能性，以及無圖案薄至厚膜應用的速度。它非常適合學術和研發環境。FilmTek™2000 SE結合了光譜橢偏法和DUV多角度偏振反射法，可同時測量薄膜厚度，折射率和消光係數。
膜厚範圍：0到150μm
膜厚精度：NIST可溯源標準氧化膜的±1.0Å100Å到1μm
光譜範圍：240nm到1700nm（240nm到1000nm是標準）
測量點尺寸：3mm
樣品尺寸：2mm到300mm（150mm標準）
光譜解析度：0.3-2nm
光源：調節氘鹵素燈（壽命2000小時）
檢測器類型：2048圖元Sony線陣CCD陣列/ 512圖元冷卻濱松InGaAs CCD陣列（NIR）自動對焦自動平臺300mm（標準為200mm）
電腦：帶有Windows™7作業系統的多核處理器
測量時間：〜2秒（例如氧化膜）
