NC-60F/RS-1300是由日本Napson公司推出的全自動液晶面板渦電流非接觸式面電阻測試儀。它通過機械手的方式進行傳輸玻璃,運用電腦控制機台對玻璃基板上多點的面電阻測量,並可提供2D/3D Mapping圖,運用非接觸式的渦電流測量技術,具備良好的測試精度及重複性。
平板顯示器行業標準的非接觸式ITO和金屬薄膜測量
測量探頭X-Y及Z軸全自動移動
可相容機械手實現自動上下片
選件:
可實現多功能集成系統(膜厚測量等)
可增加4探針測量單元:RT-3000
樣品尺寸:
支持最大2,880 x 3,080mm
測量範圍:
[RS]
<1. ITO薄膜> 5~800 Ω/sq
<2. 金屬薄膜> 10m ~ 10Ω/sq
[ITO薄膜厚度] 20 nm (200A)~500 nm (5,000A)