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PLM8000是一款針對8”以內晶圓所需IC設計,失效分析,可靠性測試等應用的手動探針台,尤其針對小尺寸晶粒的點測
X軸行程210 mm (8.25”)
Y軸行程235 mm (9.25”)
205 mm (8”) 鋁制載片盤表面鍍鎳
手動自動可程式控制顯微鏡移動模組
失效分析用雷射器
封裝後器件夾具
磁力或真空探針座
探針卡夾具
電磁遮罩箱