采用无接触方式,测试半绝缘高阻半导体晶片的体电阻率值,并可以进行自动多点测试,绘制晶片各个区域的体电阻率值,得到整片的均匀性.
XY移动平台:150mmΧ150mm
上片方式:手动
探头高度调整:自动调整
真空载片盘:150mm直径,自带真空泵
遮光罩:测试区域配备阻光罩
移动速度: 最大每秒40mm
重定位精度: 10um
测量范围: 105 ohm-cm 到 1012 ohm-cm
探头尺寸: 直径1mm
重复性:
1x106Ohm-cm – 1x109 Ohm-cm, 测试数据偏差小于1%
1x105 Ohm-cm– 1x106 Ohm-cm, 测试数据偏差小于10%
1x109 Ohm-cm– 1x1012 Ohm-cm, 测试数据偏差小于10%
去边距离: 标准5mm,最小2.5mm
电阻率测试时间: 单点,阻值在107 ohm-cm时,约为270ms,含平台移动1mm的时间
整片测试时间: 100mm直径,1mm测试间距情况下,约36分钟
