高精度AFM,樣品移動台：300×300mm 大行程二維電動樣品移動台，快速選擇感興趣的樣品區域,載物台：直徑300mm 帶真空吸附功能的超大樣品載物台,掃描器：100×100um 大範圍高精度閉環平移式壓電掃描器，標準光柵定標精度
AFM 掃描範圍：100um×100um×10um
AFM 掃描解析度：XY 向0.2nm，Z 向0.05nm
AFM 掃描速率：0.6Hz~4.34Hz
AFM 掃描角度：0~360°
樣品尺寸：Φ≤300mm，H≤20mm
樣品台移動範圍：300mm×300mm
Profile 線測量長度：1mm
