用途: 半導體, MEMS, 感測器, 微流體, IOT, 封裝
6000系列基於成熟的 OAI 模組化平臺, 具有前面或背面的一致性, 具有完全自動化的亞微米解析度, 提供的性能是無與倫比的
波長220nm-405nm可選
相容4-8inch
可選UV LED光源
Proximity 精度 3um
Soft contact 精度2um
Hard contact精度1um
Vacuum contact 精度0.8um
雙擺臂4軸機械手
自平衡防震裝置
高產能可達180wph
先進光路系統
