Nanometrics公司的HL5500是一款用於測量半導體材料的電阻率，載流子濃度和遷移率的半導體高性能霍爾系統。模組化設計理念，允許輕鬆升級，該系統適用於各種材料，包括矽和化合物半導體和金屬氧化物膜等
該系統具有低電阻率和高電阻率測量功能，具有雙重溫度功能和一個可選的低溫恒溫器，可擴展該系統溫度範圍從90K到500K。電腦是基於Microsoft®Windows™的。
軟體
HL5500具有靈活且易於使用的Windows軟體，可輕鬆將資料和資訊匯出到其他Windows套裝軟體.
支持van der Pauw，Hall Bar和Bridge樣品
集成，延時和重複測量模式提高了靈活性和準確度
輕鬆匯出和存儲資料和圖像
接觸驗證包括I-V曲線展示
用於形成歐姆接觸的電成形過程
修正的表面和介面消耗效應
修正霍爾散射因數
配置
測量平臺
標準系統組態適用于0.1mΩ/平方至超過1MΩ/平方的薄層電阻率。測量平臺具有兩個溫度測量階段，可拆卸杜瓦瓶和四個微操作探針。
緩衝放大器
HL5580高阻抗緩衝記憶體/電流源可用，可將薄層電阻率測量能力擴展至100GΩ/平方，源電流可降至1 pA。模組與樣品緊密接近，以及使用從而確保最小化電纜電容效應。一個特殊的遮罩
提供樣品架（僅限室溫操作）。
推薦的可選附件是HL5520立體顯微鏡。
磁場
永磁場,帶有自動極性反轉機構
0.32T標稱值, 1%誤差,0.1%穩定度,10年
間距 33.4mm
最大作用直徑 25mm
可選磁場 0.5T標稱
典型資料
電流輸出範圍 100nA – 19.9mA
電流源相容電壓 20V
輸入電壓工作範圍 ±6V
電壓測量模式 AC(213Hz)/DC
電壓信號輸入 同軸
電壓接觸切換 FET
電阻測試範圍 10-4 Ω/sq ~106Ω/sq
載流子濃度測試範圍 106 ~ 1021 cm-3
載流子遷移率測試範圍 1 ~ 107 cm2/V.s
接觸方式 探針直接接觸
HL5500/M50
類別 可翻轉的永磁鐵
強度 強度 0.5T(5000 Gauss)，標稱 ±1%
穩定度 穩定度 0.1% over 10 years
均勻性 均勻性 ±0.1%
最大作用直徑 25mm
