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APS 80 HV全自動高壓探針台是一款針對 2“-8”高壓大電流晶圓批量測試,應用於GaAs,陶瓷,矽片,上膜晶圓,Taiko晶圓,功率晶片的點測
低接觸阻抗
大電流測試(高至200A)
大電壓測試 (高至 10,000V)
安全防護鎖功能
可連接 Agilent’s B1505A功率分析儀/ LEMSYS IGBT靜態測試儀
-55C到200C變溫chuck
特製的chuck專門針對taiko晶圓