為針對 DIODE、MOSFET、IGBT, TVS 等產業元件的晶圓測試。
PEGASUS PG2000D 是一台雙面四線探針結構的探針台,此結構可消除探針平台上的阻抗問題,
使其對測試結果的影響降到最低,可讓被測元件更接近於工程設計之要求。
X/Y軸
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程: 210mmx210mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重複性:±4 um
顯微鏡:
目鏡:20x
物鏡:1x-4.5x
放大倍率: 20x-90x
測試平台:
材質:高絕緣人造石頭版
夾片尺寸:3”/4”/5”/6”/8”
旋轉角度:±10.0 度
解析度:0.001 度
