Cresbox是由日本Napson公司推出的桌上型半自動四探針電阻率量測設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的矽片大小,測試點位,運用四探針電阻率量測的原理進行多點測量,可以通過軟體輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。
· 使用者可程式設計的測量模式和可程式設計的測量模式
· 測試儀自檢功能,測量範圍寬
· 矽片的厚度,邊緣和溫度校正
· 薄膜電阻的薄膜厚度轉換功能
· 應用:半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、納米銀線等)
導電薄膜(金屬、ITO等),擴散層,矽相關外延材料,離子注入樣品。
· 有多點測量功能(最大1225點),支援Mapping功能,提供2D圖/3D圖像分析。
· 金屬膜厚換算功能。
· 測試資料可通過CSV格式檔匯出。
· 符合以下ASTM & JIS的要求
JIS H 0602-1995,JIS K 7194-1994。
< ASTM >
ASTM F 84 - 99(SEMI MF84)
ASTM f374 -00a,
ASTM F 390-11,
ASTM F 1529-97
樣品尺寸:
支持最大8寸,或156x156mm
測量範圍:
V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
電阻率: 1.0m - 300.0k Ω.cm
Image of Mapping