RT-70V是由日本Napson公司推出的桌上型手動四探針電阻率量測設備。它運用四探針電阻率量針對半導體及其他導電材料進行測量,同時根據各種不同的需要,配備了多款不同的測試平臺以便供客戶選擇。
整套測量系統由測量主機RT-70V和不用應用的平臺組成
測量主機為RT-70V
通過旋鈕調整輸入樣品厚度
主機帶自我測試功能,及自動切換測量檔位功能
應用:半導體材料、太陽能電池材料(矽、多晶矽、碳化矽等),新材料、功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、Ag納米線等)
導電薄膜(金屬、離子等),擴散層,矽相關外延材料,離子注入樣品。
測試平臺
可根據實際測量應用從下列平臺中選擇
(1) RG-7C: 自動測量,探頭上下移動
(2) RG-7S: 測量大尺寸樣品,手動移動探頭位置,探頭自動上下移動
(3) TS-7D: 掌上型測量探頭
樣品尺寸:
基於所選擇的平臺而定
圓形樣品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
測量範圍:
V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm