NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自動渦電流非接觸式電阻率測量設備。它可以通過電腦進行控制,編輯測試需要測試的矽片大小,測試點位數量,運用渦電流非接觸式的量測原理進行測量,可以通過軟體輸出2D/3D Mapping圖,更高效的完成測量任務。
配備高精度,寬量程的非接觸式渦電流測量探頭
具備Mapping多點量測功能,可顯示2D/3D圖像
最多可量測217點
支持2-8寸樣品
應用:GaAs, GaN, SiC, 金屬薄膜材料等
面電阻測試範圍:0.005 ~ 3000 Ω/sq
探頭類型
- 超低:0.005 ~ 0.01 Ω/sq
- 低:0.01 ~ 0.5 Ω/sq
- 中:0.5 ~ 10 Ω/sq
- 高:10 ~ 3000 Ω/sq
探頭直徑:14mm
探頭間隙:1.7mm ~ 2mm