OAI型号200光刻机是一款性价比较高的高性能光刻机, 已经被工业界所公认,OAI 是光刻设备行业的领导者。 Model 200是一个台式光刻机, 只需要非常小的洁净室。 它为研发提供了一个经济性的选择, 或者可用于有限规模的试验性生产。 利用一个创新的, 空气轴承 / 真空卡盘平整系统, 基板在接触接触过程中迅速和缓慢地平整基板, 使平行的照片掩模对齐晶圆并均匀接触。 该系统具有1um的分辨率和对准精度
仅需要很小的洁净室空间
对衬底的损伤降低到最低
对准精度1um
广泛适用于多种衬底与光罩
背面对准支持IR穿透
晶圆光刻精度支持3-5um
高对准精度，高均匀性UV光源
迅速切换UV光源波长
曝光均匀性在2%以内
可用于纳米列印工具
可选配微流体研究模组
