超高精密光致發光譜測試系統

  • 產品型號:VerteX
  • 制造原廠:Nanometrics Inc.
  • 基於工業標準的RPM家族基礎上的最精密機型,適合研究和量產;

  • 採用最精密的鐳射功率控制技術,可以實現行業領先的精度,重複性和機台間一致性;

  • 使用Adaptive Power Density Control技術,持續監控激發光的功率和光束直徑;

  • 有效避免用於激發光功率的波動,而導致外延結構的PL信號的變化;

  • 基於激發功率一致性,可有效保證多台Vertex系統的測試一致性;

  • 靈活配置設計,可以最多內置4支雷射器 --是PL測試儀中最多的型號;

  • 內置光源,用於單色儀校正;

  • 涵蓋RPM系列PL測試儀的全部功能;

  • 可以升級到機械手進行自動取放片測試;

  • 針對InGaN基LED,得益於激發功率控制,可以進行PL到EL的一致性檢查;

  • 得益于數百台廣泛應用的PL設備的使用經驗,測試軟體可以給使用者提供最佳應用體驗.



激發功率vs波長

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  • 資料以R,θ方式收集、存儲,並以X,Y坐標軸方式顯示

  • 資料和圖像可輸出至其它形式的套裝軟體

  • 顯示比例與顏色可由使用者設定或系統預設

  • 全光譜掃描,並對峰值波長、峰值強度、半高寬、積分強度同步收集和顯示

  • 可以對晶片上任意一點進行單點光譜顯示和存儲

  • 每秒可以收集180個點的全光譜或2000個點的強度圖譜

  • 使用者自訂資料篩選功能

  • 統計資料以數位或柱狀圖顯示

  • 可分析合金成分

  • 可以對系統參數和測量參數自動分段

  • 選擇附加功能選項可完成薄膜厚度,布拉格反射體和VCSEL的特性量測