RPMblue / FS旨在為整個波長提供快速，準確，精確和可靠的PL測量。這包括用於GaN FET和UV雷射器的高Al含量AlGaN合金/用於通信雷射器的LED-NIR以及其間的一切。RPMblue / FS提供超過15種標準鐳射以及為幾乎無限量的光源提供光纖的能力。
研究級300聚焦單色儀可以安裝最多三個光柵和兩個陣列探測器 -並且一經配置，可以在電腦控制下選擇每個光學部件。為確保盡可能高的波長精度，RPMblue / FS包含自己的內置單色儀校準光譜源。
最靈活最有能力
對於大批量應用，RPMblue / FS很容易可升級到機械手晶圓處理。機械手晶圓處理並且全SECS-GEM工廠自動化降低了操作員的工作量到最小，提高測試效率 - 並減少晶圓損壞。該系統可以處理直徑達8“的任何晶圓。
通過採用DUV 213 nm發射雷射器和專用光學部件，RPMblue / FS準備提供快速並為UV-A / B / C LED提供準確的PL測量以及AlGaN合金中Al含量高達90％。
內置晶圓載片台配備有溫度感測器, 允許對收到溫度變化而導致的峰值波長波動進行補償,特別是對於InP基的通信用雷射器件.該系統還可以輕鬆檢測出晶體缺陷和SiC功率器件結晶組分的變化。
RPMblue / FS的靈活配置允許在強大且低維護的框架下進行研發應用以及大多數III-V材料的全自動大批量生產。
標準特性
晶圓尺寸可達8inch或小片
2inch片在2mm空間解析度下可達80wph產能
可選全自動晶圓取放裝置,最多配備3個晶圓盒
快速R-T平臺,可以整片掃描或定點測試
科研級300mm聚焦長度單色儀
大範圍孔徑選擇,既可適應高效率光子收集,也可適應超低發光收集
多達4個雷射器（2個內部雷射器，1個二極體雷射器和1個外部雷射器）從213納米到1064納米的激發波長範圍內響應
多達3個光柵用於高解析度光譜PL映射
多達2個探測器覆蓋200 nm至2.6μm
集成的白色光源用於測量厚度和反射率
高速非光譜映射模式@ 2000 pps
高速光譜映射模式@ 200 pps
可選特性
晶圓bow測量
Accucolor®真正的LED顏色測定
Overview ®MOCVD模擬統計
多個PL峰值統計
SECS-GEM工廠自動化
資料以R，θ方式收集、存儲，並以X,Y坐標軸方式顯示
資料和圖像可輸出至其它形式的套裝軟體
顯示比例與顏色可由使用者設定或系統預設
全光譜掃描,並對峰值波長、峰值強度、半高寬、積分強度同步收集和顯示
可以對晶片上任意一點進行單點光譜顯示和存儲
每秒可以收集180個點的全光譜或2000個點的強度圖譜
使用者自訂資料篩選功能
統計資料以數位或柱狀圖顯示
可分析合金成分
可以對系統參數和測量參數自動分段
選擇附加功能選項可完成薄膜厚度，布拉格反射體和VCSEL的特性量測
