化合物半導體
襯底及外延片材料特性測試
非接觸式面電阻/超高阻量測

非接觸多點面電阻測量系統

  • 產品型號：NC-80MAP
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 面電阻值測量範圍廣，最多可以安裝4個探頭

  • 最小離邊測量距離為7mm

  • 客戶可程式設計測量點位元及條件

  • 選件：厚度測量探頭（針對矽片）
           


  • 樣品尺寸：
    2~8寸 （選件:8寸)

  • 測量範圍：
    [R] 1m~200 Ω・cm
    [RS] 10m~3,000 Ω/sq

  • 該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
           


NAP-NC-80MAP
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